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Germaniumwafer相关论文
磨削方式对锗片边缘质量的影响
锗衬底主要用于制备多结砷化镓太阳电池,随着100 mm锗衬底材料厚度的进一步降低,减薄加工过程中极容易造成表面损伤及崩边,导致加......
期刊
锗片
减薄
磨削
内应力
边缘质量
germaniumwafer
thinning
grinding
internal stress
edge quality
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